京仪从动化申请晶圆预校准器从动定位机械圆心

　　国度学问产权局消息显示，北京京仪从动化配备手艺股份无限公司申请一项名为“一种晶圆预校准器的从动定位机械圆心方式”的专利，公开号CN121398522A，申请日期为2025年10月。本申请公开了一种晶圆预校准器的从动定位机械圆心方式，包罗对晶圆预校准器进行参数初始化，擦除其原有参数后写入基于产物设想图纸确定的预设参考参数；通过圆心校准工拆使待校准晶圆的圆心取晶圆预校准器上吸盘的圆心沉合，再通过吸盘吸附待校准晶圆；驱动晶圆预校准器的扭转部件带动吸盘扭转，通过边缘检测部件采集待校准晶圆的边缘数据及扭转部件的扭转角度数据；对采集的边缘数据取扭转角度数据进行处置，调控晶圆预校准器的X轴挪动部件、Y轴挪动部件进行调整，将三者沉应时的机械圆心参数存储至存储介质，供晶圆预校准器后续初始化时挪用以驱动吸盘圆心回归机械圆心。可以或许从动定位机械圆心、无需人工干涉。